接地電阻柜微小機械敏感器
發(fā)布人：管理員 發(fā)布時(shí)間：2014-5-19
接地電阻柜微小機械敏感器近來(lái)有把傳感器與機構部件結合為一體的發(fā)展動(dòng)向，它將特別適合在機器人上使用。
有人設想，在一塊半導體硅基片上不僅做上了傳感器和電子電路，而且做上機械元件，使之一體化。這種新型器件的制造技術(shù)是利用硅晶體的生長(cháng)速度的各向導性和雜技分布的異存性，在硅片上打孔、劃溝，以及作出錐形、半球形等各種形狀的機械部件，可以制成閥門(mén)、棱鏡、平鏡、噴嘴、插塞、打字頭等。這種方法可以做出力、壓力、加速度、化學(xué)氣氛濃度等的傳感器。這種器件在化學(xué)分析方面有獨到之處，例如，可以把復雜的氣體色譜儀作在一個(gè)硅片上，在2英寸直徑的一塊硅片上不僅做上檢測元件，而且做上了1.5米長(cháng)的色譜柱和取樣裝置。
最近研制了一種用五個(gè)這種色譜分析傳感器與微處理機相組合，做成便攜式微型氣體色譜儀。五個(gè)色譜柱具有不同的特性，組合起來(lái)能分析約一百種氣體。它在大氣分析、化工氣相分析方面有廣泛的用途。
今后，溫度傳感器、壓力傳感器等種種不同的傳感器復合為一體，并與集成電路做在一塊，使信號數字化，甚至與機械部件做在一起，這種就能有效地完成自動(dòng)化控制的任務(wù)。
有人設想，在一塊半導體硅基片上不僅做上了傳感器和電子電路，而且做上機械元件，使之一體化。這種新型器件的制造技術(shù)是利用硅晶體的生長(cháng)速度的各向導性和雜技分布的異存性，在硅片上打孔、劃溝，以及作出錐形、半球形等各種形狀的機械部件，可以制成閥門(mén)、棱鏡、平鏡、噴嘴、插塞、打字頭等。這種方法可以做出力、壓力、加速度、化學(xué)氣氛濃度等的傳感器。這種器件在化學(xué)分析方面有獨到之處，例如，可以把復雜的氣體色譜儀作在一個(gè)硅片上，在2英寸直徑的一塊硅片上不僅做上檢測元件，而且做上了1.5米長(cháng)的色譜柱和取樣裝置。
最近研制了一種用五個(gè)這種色譜分析傳感器與微處理機相組合，做成便攜式微型氣體色譜儀。五個(gè)色譜柱具有不同的特性，組合起來(lái)能分析約一百種氣體。它在大氣分析、化工氣相分析方面有廣泛的用途。
今后，溫度傳感器、壓力傳感器等種種不同的傳感器復合為一體，并與集成電路做在一塊，使信號數字化，甚至與機械部件做在一起，這種就能有效地完成自動(dòng)化控制的任務(wù)。
